三星电子首次采用韩国本土EUV光刻胶

12月5日消息 据外媒报道，在2019年经历与日本的光刻胶等关键原料的供应风波之后，三星电子就在尝试将关键原料的供应本土化，经过3年之后，他们也在极紫外光刻胶上取得了进展。

从外媒的报道来看，三星电子已首次将韩国本土公司东进世美肯的极紫外光刻胶，用于他们的一条半导体工艺线。

外媒的报道显示，在日本限制出口、三星电子尝试重构极紫外光刻胶的供应链之后，东进世美肯就已开始研发极紫外光刻胶，并在去年通过了三星电子的可靠性测试，三星电子随后在不到一年的时间里就用于他们的一条工艺线。

不过，外媒在报道中也提到，同三星电子整体的生产线相比，东进世美肯的极紫外光刻胶用于一条工艺线还只是很小的一部分，但对于一种此前全部依赖进口的原材料，能用于一条工艺线也有特别的意义。

由于需要考虑与海外供应商之间的关系等多重因素，目前还不清楚三星电子是否会将东进世美肯的极紫外光刻胶，用于更多的工艺线。

此外，外媒在报道中还提到，极紫外光刻胶可用于3-50道程序，目前也还不确定东进世美肯的光刻胶会用于哪一工艺程序。

当然，外媒在报道中也提到，虽然东进世美肯目前向三星电子供应的极紫外光刻胶，在供应量上还不大，但他们的极紫外光刻胶的表现，预计将决定未来的供应是否增加。